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Model 760 高精度真空计
Model 760
高精度真空计
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Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的lol外围。满量程范围从 10Torr 到1000Torr。测量单位可以是 Torr,mbar/hpa,kpa 或psia。Model 760 的工作电压是 15VDC,输出 0~10VDC或 0~5VDC,输出与压力成线性关系,并且与气体成分无关。

电气连接件可以是工业尺度 15 针 D 型插座或 6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和 ESD 按捺元件以及输入输出的 RFI 过滤等技术,Model 760 具有出众的 EMI/RFI 性能。 Model 760 有一个完整的滑面,很轻易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel? 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体,别的可提供不同类型的压力和真空接头。

Model 760 中高精度的压力传感元件 VactronTM pressure sensor,是在 Setra 专利技术可变电容传感技术基础上成长来的。在敏感元件中心有一个馈入装置组件撑持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被 Setra独特的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号,该集成电路是按照西特专利技术负荷平衡原理设计的。

Model 760 采用革新的传感设计获得了超卓的零点不变性和大气压非敏感性。Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了与陶瓷式布局相似的电容式压力计。

出众的 EMI/RFI 性能
耐腐蚀的 Inconel ? 设计
超卓的热不变性

特性
· 高精度:尺度 ±0.25% of Reading ,可选 ±0.15%
· 小巧紧凑的布局
· 多种压力连接和电气连接方式
· 符合 CE 尺度

应用
· 半导体过程工具和设备
· 尝试室和研究开发
· 尝试和测量
· 度量
· 阐发化学系统

注:Setra 坚持严格的质量尺度 ANSI-Z540-1。此产物的标定源于 NIST。

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